高溫探針臺

　　一、準備工作

　　接口連接：確保探針臺和待測試設備的接口正確連接。

　　探針頭選擇：根據(jù)測試需求選擇合適的探針頭。

　　設備校準：校準探針臺，確保其能夠正確測量電信號或其他相關參數(shù)。

　　樣品準備：將待測樣品放置在探針臺的加熱組件上，并確保樣品與探針臺之間的接觸良好。

　　二、操作步驟

　　啟動與預熱：

　　打開探針臺電源，并進行預熱，一般需要幾分鐘時間。啟動加熱系統(tǒng)，根據(jù)實驗需求將樣品加熱至指定溫度。同時，溫度控制系統(tǒng)會實時監(jiān)測樣品溫度，并自動調整加熱功率以維持樣品溫度的穩(wěn)定。

　　樣品定位與觀察：

　　使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下觀察樣品。切換顯微鏡至高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，并微調顯微鏡聚焦和樣品x-y位置，使待測點位于顯微鏡視場中心。

　　探針調整與接觸：

　　待測點位置確認好后，調節(jié)探針座的位置。將探針裝上后，先將探針移到接近待測點的位置旁邊。使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕，小心且緩慢地將探針移至被測點。此時需防止動作過大誤傷芯片。

　　當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針。最后使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，以確認是否已接觸良好。

　　實驗與測量：

　　確保針尖和被測點接觸良好后，通過連接的測試設備開始測試。這些測試可以包括電阻測量、電壓測量、電流測量等電學性質的測量;也可以包括熱導率測量、熱膨脹系數(shù)測量等熱學性質的測量。

　　三、數(shù)據(jù)處理與分析

　　數(shù)據(jù)采集：在實驗過程中，收集相關的測試數(shù)據(jù)。

　　數(shù)據(jù)處理與分析：實驗結束后，將收集到的數(shù)據(jù)進行處理和分析，以得出實驗結論。

　　四、注意事項與維護保養(yǎng)

　　安全操作：

　　操作時注意安全，例如電源絕緣、接線正確等。避免突然斷電或異常操作，以免對待測設備造成損害。

　　保持清潔：保持探針臺干凈整潔，避免顆粒灰塵等物質對測量結果的干擾。

　　維護保養(yǎng)：

　　定期進行維護保養(yǎng)，例如清潔、校準、替換易損件等。

　　妥善保存探針頭和線纜等易損件，避免損壞或丟失。

　　按照廠家要求進行保養(yǎng)，例如定期更換濾波器、清潔探頭等，以確保探針臺的長期穩(wěn)定性和可靠性。

　　通過以上步驟，可以正確、有效地使用高溫探針臺進行測試實驗。同時，注意遵守操作規(guī)程和注意事項，以確保測試結果的準確性和可靠性。