CryoPS高低溫真空探針臺產(chǎn)品特點介紹
精確控制的測試測量環(huán)境 - 高真空腔體，4～675k溫度范圍。
多種配件可選／升級 - 2～8英寸載物臺，定位器數(shù)量及精度、溫度范圍、光學穿墻件。
高性價比 - 液氮／氦致冷系統(tǒng)，設(shè)備初始配置成本比閉循環(huán)系統(tǒng)低。
結(jié)構(gòu)緊湊 - 小型化結(jié)構(gòu)設(shè)計，是空間緊張的研究單位的理想選擇。
KeyFactor公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺，該系統(tǒng)配置了KeyFactor研發(fā)的CryoPS-Celcius溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。
CryoPS-Celcius配套了4個高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至200℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實驗時間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。
高性價比真空高低溫探針臺系統(tǒng)
除了高性價比入門級配置，KeyFactor公司還為用戶研發(fā)了高性價比配置的真空高低溫探針臺系統(tǒng)。該系統(tǒng)配置了Cryocon的Model 26C或者Lakeshore的Model336溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準、穩(wěn)定且高效的溫度控制。
CryoPS-Kelvin真空高低溫探針臺系統(tǒng)，使用國際上先進的溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為4.4至675K（常規(guī)系統(tǒng)至475K），溫度穩(wěn)定性可達0.1K。該系統(tǒng)亦同時配套有4路輸入和兩路PID輸出，可精準且全面地對系統(tǒng)的溫度進行監(jiān)視和控制。CryoPS-Kelvin為開循環(huán)系統(tǒng)，用戶可根據(jù)實際需求，使用液氮或液氦對系統(tǒng)進行降溫，獲得相應(yīng)的目標溫度（77K/4.4K）。
高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺系統(tǒng)
高低溫探針臺系統(tǒng)達到10^-3mbar即可進行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。KeyFactor的常規(guī)低溫探針臺系統(tǒng)，可達10^-5mbar。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器，最大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
多種真空度可選的高低溫探針臺系統(tǒng)
精準、可靠的電學測試測量配置也是KeyFactor高低溫探針臺系統(tǒng)的優(yōu)勢。
我們可為用戶提供多種探針臺配置，如常規(guī)的鎢探針用于基礎(chǔ)的I-V測量，同軸探針用于高精度的I-V/C-V以及PIV測量，TrueKelvin同軸探針用于高精度的C-V測量，微波測試探針用于S參數(shù)的表征測量等等。
除了探針，KeyFactor也為用戶提供了多種真空穿墻接頭以用于不同的測試系統(tǒng)間的連接。目前常用的配置有BNC，SMA、TRIAX三同軸接頭，2.92mm微波測試接頭等等。
高性能、精準的電學測試配件
普通的樣品夾具，通常由OFC制作并與系統(tǒng)共地。我們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具，用于超低漏電測試應(yīng)用中。所有樣品夾具表面均有TYPE II規(guī)格的鍍金層，增強樣品的導電性能。
我們同時還提供多種尺寸的磁體樣品臺，用于提供小范圍的垂直磁場，方便用戶進行磁場測試。
可選多種樣品臺配置
多重溫度監(jiān)測系統(tǒng)
冷頭、探針、探針臂及屏蔽層均有溫度監(jiān)測傳感器，為用戶提供多個準確的溫度信息，讓用戶快速地把握測試環(huán)境的大致情況。
待測器件（DUT）的溫度會受到輻射及周邊部件熱傳導的影響，因此，如果沒有完善的熱錨技術(shù)，將無法得到精準可靠的目標溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上，而不是安裝在DUT上，DUT的溫度實際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。
為了避免由于溫度不準而導致錯誤的測試結(jié)果，我們對探針、探針臂、輻射屏蔽層都使用了熱錨技術(shù)，最大程度地減少溫度誤差。同時，整體系統(tǒng)也配置了低溫屏蔽層，用于屏蔽300K輻射，提升系統(tǒng)溫度的精確性和穩(wěn)定性。
先進的屏蔽及熱沉技術(shù)
