真空探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)包括哪幾個(gè)部分
真空探針臺(tái)是一種能夠在真空環(huán)境下進(jìn)行薄膜材料電學(xué)性能測(cè)試的設(shè)備。它通過(guò)在真空環(huán)境中對(duì)樣品進(jìn)行加熱或冷卻,模擬不同溫度下的實(shí)驗(yàn)條件,以獲取材料在不同溫度下的電學(xué)性能數(shù)據(jù)。那么真空探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)包括哪幾個(gè)部分呢?下面鍵德測(cè)試測(cè)量小編就來(lái)為大家介紹下。
真空探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)通常包括以下幾個(gè)主要部分:
探針架:支撐和固定探針的結(jié)構(gòu),通常采用穩(wěn)定的材料制成,如鋁合金或不銹鋼。
探針:探測(cè)器件,用于接觸樣品表面并獲取表面形貌或性能信息。常見(jiàn)的探針類型包括掃描探針顯微鏡(SPM)的探針、電化學(xué)探針等。
探針調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu):控制探針在 XYZ 三個(gè)方向的移動(dòng),以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的掃描或測(cè)試。
真空系統(tǒng):提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,減少氣體對(duì)測(cè)試結(jié)果的干擾。真空系統(tǒng)通常包括真空泵、真空室、閥門(mén)等組件。
以上就是真空探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)了,真空探針臺(tái)為真空變溫實(shí)驗(yàn)提供解決方案,同時(shí)可集成顯微鏡、光譜系統(tǒng)進(jìn)行材料表征。