真空探針臺是一種用于數(shù)學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，主要進行MEMS 器件晶圓級的射頻測試、特種氣體環(huán)境測試、壓力測試、光電性能測試、溫度測試、震動測試、聲音測試及電參數(shù)測試，這些測試類型都基于探針臺的真空環(huán)境。當(dāng)真空探針臺腔體內(nèi)部抽成真空后，對晶圓上的芯片加上壓力、聲、振動、液體、溫度等影響因素，在這些因素環(huán)境中進行電性能測試，對測試芯片的優(yōu)劣進行判斷。那么真空探針臺的測試特點都有哪些呢？下面鍵德測試測量小編就來為大家介紹下。

　　真空探針臺的測試特點：

　　(1)節(jié)約人員成本。利用工控機編程，可以靈活地根據(jù)測試需求自動完成測試工作，同時將測試人員從繁雜的工作量中解放出來。

　　(2)提升測試速度。在軟件程序的控制下，自動探針測試可以獨自完成所有的測試流程工作，節(jié)省了測試人員的測試操作和反應(yīng)的時間，使工作效率得到很大提升。

　　(3)提高測試精度。由于軟件程序的精確控制，使得在探針測試的過程中，不會出現(xiàn)由于人為判斷不準(zhǔn)、操作失誤等問題，能夠?qū)�測試的誤差降到最低，使測試結(jié)果的精度很大提高。

　　(4)長時間、高強度及特種環(huán)境測試。根據(jù)器 件測試方式與參數(shù)的不同，有時測試工作需要長 時間持續(xù)地進行，手動測試無法滿足高強度的測試工作，或者測試工作需 要在危險或測試人員難于進入的特種環(huán)境進行測試，自動探針測試技術(shù)幾乎不受時間、地點、環(huán)境等因素的限制，可以正常完成測量并取得準(zhǔn)確的測量結(jié)果。

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