探針臺(tái)的使用方法-如何正確使用

正確地使用探針臺(tái)，可有效地提高操效率，減少誤操作造成樣品和探針耗材的損傷、損耗。本文以KeyFactor的IPS探針臺(tái)的使用方法為例，為您講解如何使用手動(dòng)探針臺(tái)。主要包含了兩部分的教學(xué)內(nèi)容：如何使用顯微鏡觀(guān)察和如何使用定位器將探針扎到待測(cè)點(diǎn)上。

1、如何正確地使用顯微鏡、用顯微鏡觀(guān)察待測(cè)樣品。

（1）打開(kāi)顯微鏡光源，調(diào)節(jié)光源亮度。將待測(cè)樣品（或待觀(guān)察位置）移至顯微鏡光斑下。

（2）確認(rèn)顯微鏡調(diào)焦架處于行程中間位置，即調(diào)焦架的導(dǎo)軌對(duì)齊（如下圖）。若有偏差，可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)焦架粗調(diào)旋鈕對(duì)齊。

（3）旋轉(zhuǎn)顯微鏡轉(zhuǎn)塔，將物鏡切換至最小放大倍數(shù)。若有必要，可使用氣動(dòng)開(kāi)關(guān)將顯微鏡抬升后再切換。

[注意]  須雙手托住轉(zhuǎn)塔側(cè)邊圈旋轉(zhuǎn)（下圖箭頭所示），嚴(yán)禁直接握住物鏡旋轉(zhuǎn)。

（4）旋轉(zhuǎn)調(diào)焦架粗調(diào)旋鈕，調(diào)節(jié)顯微鏡物鏡與樣品間的距離（向上或向下）。顯微鏡與樣品的對(duì)焦過(guò)程中，通過(guò)目鏡（配置了攝像頭可通過(guò)顯示器）可觀(guān)察到樣品成像由模糊逐漸轉(zhuǎn)為清晰。

[注意]  操作粗調(diào)旋鈕時(shí)應(yīng)注意觀(guān)察樣品與物鏡之間的距離，防止樣品與待測(cè)樣品相撞損壞物鏡。所有物鏡為95mmMPlanAPO長(zhǎng)工作距離物鏡，

若物鏡與樣品間的距離小于10mm，應(yīng)停止并往反方向調(diào)節(jié)距離。

（5） 轉(zhuǎn)動(dòng)顯微鏡轉(zhuǎn)塔，切換至換至目標(biāo)放大倍數(shù)，調(diào)節(jié)調(diào)焦架高度，至樣品成像清晰即完成操作。

（6）高倍下操作，可使用調(diào)焦架細(xì)調(diào)旋鈕輔助調(diào)節(jié)顯微鏡高度，將樣品與顯微鏡對(duì)焦。

[注意]  若調(diào)焦架處在極限行程位置，嚴(yán)禁使用細(xì)調(diào)旋鈕，否則可能對(duì)調(diào)焦架造成嚴(yán)重?fù)p壞。此時(shí)應(yīng)當(dāng)使用粗調(diào)旋鈕并往反方向操作。

2、如何將探針連接至待測(cè)點(diǎn)

(1) 顯微鏡最小倍數(shù)物鏡下找到待測(cè)點(diǎn)（或附近的位置），使待測(cè)點(diǎn)成像清晰。

(2) 確認(rèn)定位器XYZ三軸均中間行程位置（即各軸導(dǎo)軌端面螺絲對(duì)齊）。Z軸也可略向上錯(cuò)開(kāi)3mm左右。

(3) 安裝并調(diào)節(jié)好探針的高度，側(cè)向平視，觀(guān)察探針與樣品臺(tái)（或樣品）間的距離（大概5mm，或略小于5mm）。

   可通過(guò)調(diào)節(jié)探針臂或探針臂適配器的高度進(jìn)行粗調(diào)定位。）

(4) 移動(dòng)定位器，將所有探針移動(dòng)至顯微鏡光斑下。此時(shí)通過(guò)目鏡觀(guān)察可看到探針的虛影（探針成像未實(shí)體化）。

(5) 操作定位器XYZ旋鈕，將探針定位至待測(cè)點(diǎn)上方。此時(shí)，可調(diào)節(jié)Z軸盡量將探針靠近待測(cè)點(diǎn)，但不要將探針扎到待測(cè)點(diǎn)上（探針未實(shí)體化）。

(6) 向上撥動(dòng)顯微鏡氣動(dòng)升降開(kāi)關(guān)，將顯微鏡抬升至最高后，切換至目標(biāo)放大倍數(shù)。向下?lián)軇?dòng)開(kāi)關(guān)，將顯微鏡復(fù)原至原來(lái)位置。

[注意]  顯微鏡緩慢下降的過(guò)程中，若觀(guān)察到物鏡與周?chē)�的配件干涉，�?yīng)當(dāng)立即向上拔動(dòng)開(kāi)關(guān)，使顯微鏡抬升。排除干涉后再把顯微鏡復(fù)位。

(7) 操作XYZ定位旋鈕，將探針準(zhǔn)確定位至待測(cè)點(diǎn)上方。慢慢調(diào)節(jié)Z軸，緩降下探針。探針兩側(cè)虛影與針尖重疊時(shí)，探針即接觸樣品待測(cè)點(diǎn)。為確保良好的接觸，可略微過(guò)壓探針，觀(guān)察到探針略向前移動(dòng)即停止。

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